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天准科技：突破14nm工艺检测壁垒，TB2000明场纳米图形晶圆缺陷检测装备正式通过厂内验证03-26

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天准科技：突破14nm工艺检测壁垒，TB2000明场纳米图形晶圆缺陷检测装备正式通过厂内验证

2025-03-26 10:21:39 - 3月26日，苏州天准科技股份有限公司（股票代码：688003.SH）宣布，旗下矽行半导体公司研发的明场纳米图形晶圆缺陷检测装备TB2000已正式通过厂内验证，将于SEMICON 2025展会天准展台（T0-117）现场正式发布。

http://finance.eastmoney.com/a/202503263356528430.html

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